自动光学检查 (AOI)
端面检查以及污染和缺陷识别——快速，自动化，可靠
没有对所使用不同组件功能进行检查和表征的组装过程是不完善的。ficonTEC的全自动INSPECTIONLINE系列系统可获取目标表面高分辨率图像，并根据用户标准执行光学检测。例如，激光二极管的端面检查，镀膜的质量监控，表面检查，半导体芯片的顶部/底部/侧壁检查，以及晶片分拣。而这些只是ficonTEC检测工具套装的许多常规检查任务中的一部分。
对于所有的ficonTEC系统，模块化的方式使得为监测平台提供附加功能成为可能——自动托盘处理，不同的进料模式，测试功能（例如 LIV），芯片顶部/底部检查，以及实时标记等。
主要功能
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高放大倍率成像系统
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用于通道检查的彩色相机
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柯勒照明
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芯片侧壁检查
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晶片分拣
端面检查
用于单颜色通道检验的彩色相机
读取数据代码
缺陷检查（活动性污染）(actor contamination)
VCSEL中心确认
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裂纹识别
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Break-out 检测
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裂纹扩展预测
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粒子识别
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灰尘和纤维识别
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详细的组件/亚批次/批次跟踪
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单独错误种类处理
